[发明专利]一种织构化硬/软复合薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 201910198671.6 | 申请日： | 2019-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN109881149A | 公开（公告）日： | 2019-06-14 |
| 发明（设计）人： | 伏彦龙;王琴琴;姜栋;胡明;王德生;高晓明;杨军;孙嘉奕;翁立军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/58;C23C14/34;C23C14/32;C23C28/04 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 刘奇 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种织构化硬/软复合薄膜的制备方法，属于表面处理及摩擦磨损防护技术领域，本发明将喷砂处理、阳极氧化和射频溅射相结合制备出具有良好织构纹理的硬/软复合薄膜。本发明制备的具有织构化的复合薄膜可以提高复合薄膜和基体的结合强度；还可以收集捕获摩擦过程中产生的磨屑颗粒，防止磨屑颗粒在滑动过程中对摩擦副表面发生刮擦、损伤，减少磨损，延长运动部件的使用寿命。实施例的数据表明：在法向载荷3N、真空环境压强≤1.3×10‑3Pa、转速1000r/min、对偶为Φ8mm的G10级9Cr18钢球的试验条件下，本发明制备的织构化硬/软复合薄膜的平均摩擦系数为0.02～0.05，摩擦寿命大于350min。 | ||
| 搜索关键词： | 复合薄膜 制备 织构化 磨屑颗粒 压强 防护技术领域 摩擦副表面 滑动过程 摩擦过程 摩擦磨损 摩擦系数 喷砂处理 射频溅射 使用寿命 试验条件 阳极氧化 运动部件 真空环境 纹理 对偶 法向 钢球 刮擦 织构 捕获 磨损 摩擦 损伤 | ||
【主权项】：
1.一种织构化硬/软复合薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)在工件表面制备硬质涂层；(2)对所述硬质涂层进行喷砂处理，得到喷砂硬质涂层；(3)对所述硼喷砂硬质涂层进行阳极氧化处理，形成织构化硬质涂层；(4)在所述织构化硬质涂层上射频溅射软质薄膜，得到所述织构化硬/软复合薄膜。
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