[发明专利]一种抗重力超薄微热管制备方法有效
| 申请号： | 201910200216.5 | 申请日： | 2019-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN109959289B | 公开（公告）日： | 2020-06-19 |
| 发明（设计）人： | 汤勇;贾明泽;丁鑫锐;李宗涛;陈恭;钟桂生 | 申请（专利权）人： | 华南理工大学;华南理工大学珠海现代产业创新研究院 |
| 主分类号： | F28D15/04 | 分类号： | F28D15/04;F28D15/02 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 郭炜绵 |
| 地址： | 510640 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种抗重力超薄微热管及其制备方法，制备方法为通过在单晶硅片上进行连续两次激光加工，加工出凹槽和可进行单向运输液体的阵列排布的梭形结构作为毛细吸液芯，然后在带有该梭形结构的两片单晶硅片间放置一片单晶硅支架，采用共晶键合技术将单晶硅片与单晶硅支架之间进行密封，再采用飞秒激光钻孔在一侧单晶硅片上钻真空灌液孔，通过真空灌注机对微热管抽真空并灌注工质液体，然后对真空灌液孔进行激光焊接密封，得到所述的抗重力超薄微热管。本抗重力超薄微热管，采用在内壁上直接加工出可进行单向运输液体的梭形阵列吸液芯结构，具有更大的蒸汽回流通道；梭形阵列结构带来了极大的毛细回流压力，传热性能好，具有抗重力特性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 重力 超薄 热管 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种抗重力超薄微热管制备方法，其特征在于，包括下列步骤：(1)将单晶硅片和单晶硅支架清洗并烘干；(2)将单晶硅片的单面先后连续进行两次激光加工，加工出阵列排布的梭形结构，再清洗并烘干；(3)通过步骤(2)加工出两片单晶硅片，将两片单晶硅片带有梭形阵列的一面相对、并在两片单晶硅片之间放入单晶硅支架，通过共晶键合技术将两片单晶硅片和单晶硅支架密封，单晶硅片和单晶硅支架之间形成内腔；(4)在微热管的其中一片单晶硅片上进行激光钻孔，加工出抽真空灌液孔，通过真空灌液孔对内腔抽真空并向内腔灌注工质液体，再对真空灌液孔进行激光焊接密封，即得到抗重力超薄微热管。
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