[发明专利]探针卡有效
| 申请号： | 201910202089.2 | 申请日： | 2019-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN111721978B | 公开（公告）日： | 2023-09-08 |
| 发明（设计）人： | 周嘉南;魏豪;郑仰宏;宋海永;李政 | 申请（专利权）人： | 旺矽科技股份有限公司;深圳市海思半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 王涛;任默闻 |
| 地址： | 中国台湾新*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种探针卡包含一空间转换器以及一探针头。空间转换器的一第一表面，形成有多个金属垫以及多个无金属垫区。探针头设置于空间转换器的第一表面，而探针头包含有一上导板、一下导板、多个信号探针、多个接地探针、多个仿真探针、多个金属层以及多个金属开口区。信号探针与接地探针，贯穿且凸出于上导板以及下导板，以分别电连接空间转换器的金属垫，而仿真探针则贯穿但无需凸出于下导板，且仿真探针电连接接地探针，且仿真探针被设置于空间转换器的无金属垫区，以提升探针卡测试品质。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 | ||
【主权项】：
暂无信息
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