[发明专利]一种具有(100)晶粒择优取向的锆钛酸铅薄膜及其制备方法在审
| 申请号： | 201910204997.5 | 申请日： | 2019-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN109761605A | 公开（公告）日： | 2019-05-17 |
| 发明（设计）人： | 邹赫麟;王兴;韩梅 | 申请（专利权）人： | 大连瑞林数字印刷技术有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/491 | 分类号： | C04B35/491;C04B35/622;H01L41/39;H01L41/187 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人： | 温福雪 |
| 地址： | 116085 辽宁省大*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种具有(100)晶粒择优取向的锆钛酸铅薄膜及其制备方法，属于压电材料薄膜制备领域。制备步骤：1)将原料钛酸四丁酯加入乙酰丙酮里，搅拌澄清后加入原料乙酸铅和硝酸锆，再加入乙二醇甲醚，最后再加入甲酰胺，制备化学式为Pbx(ZryTi1‑y)O3的锆钛酸铅种子层前驱体溶液；2)将锆钛酸铅种子层前驱体溶液沉积在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上，并进行热处理，重复沉积和热处理步骤，制备得到锆钛酸铅种子层；3)在锆钛酸铅种子层上通过射频磁控溅射沉积得到非晶态PZT薄膜，再经热处理后得到(100)择优取向的锆钛酸铅薄膜。采用本发明方法能够制得(100)晶粒择优取向且电性能优异的锆钛酸铅薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 锆钛酸铅薄膜 锆钛酸铅 种子层 晶粒择优取向 沉积 前驱体溶液 热处理 射频磁控溅射 压电材料薄膜 热处理步骤 乙二醇甲醚 钛酸四丁酯 乙酰丙酮 原料乙酸 择优取向 电性能 非晶态 甲酰胺 硝酸锆 衬底 澄清 重复 | ||
【主权项】：
1.一种具有(100)晶粒择优取向的锆钛酸铅薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：1)将原料钛酸四丁酯加入乙酰丙酮里，搅拌澄清后加入原料乙酸铅和硝酸锆，再加入乙二醇甲醚作为溶剂，最后再加入稳定剂甲酰胺，制备化学式为Pbx(ZryTi1‑y)O3的锆钛酸铅种子层前驱体溶液，其中x为1.1‑1.3，y为0.4‑0.5；2)将锆钛酸铅种子层前驱体溶液沉积在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上，并进行热处理，重复沉积和热处理步骤，制备得到厚度为150‑220nm的锆钛酸铅种子层；3)在锆钛酸铅种子层上通过射频磁控溅射沉积得到非晶态PZT薄膜，非晶态PZT薄膜再经热处理后得到(100)择优取向的锆钛酸铅薄膜，锆钛酸铅薄膜的厚度为600‑1000nm。
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