[发明专利]一种金镍碳复合导电润滑涂层材料及其制备方法有效
| 申请号： | 201910207257.7 | 申请日： | 2019-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN109735820B | 公开（公告）日： | 2021-03-02 |
| 发明（设计）人： | 王鹏;乔丽;赵晓宇;张瀚文 | 申请（专利权）人： | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/16;C22C5/02;C23C14/02 |
| 代理公司： | 兰州智和专利代理事务所(普通合伙) 62201 | 代理人： | 张英荷 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： |
本发明提供可一种金镍碳复合导电润滑涂层材料的制备方法，通过物理气相沉积法，先在镍靶施加320~370W直流电源溅射，在铜铬锆合金基材上沉积一层镍过渡层；然后同时采用金靶、镍靶、碳靶，并分别施加120~150W、35~45W的直流电源、100~400W的射频电源溅射，在镍过渡层上沉积一层金镍碳复合涂层，最终在铜铬锆基材上得到复合层导电润滑涂层材料。该金镍碳复合涂层的电阻率为82~90×10 |
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| 搜索关键词： | 一种 金镍碳 复合 导电 润滑 涂层 材料 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种金镍碳复合导电润滑涂层材料，其特征在于：依次包括铜铬锆合金基材、镍过渡层、金镍碳复合涂层，其中镍过渡层的厚度为0.9~1.2μm；金镍碳复合涂层的厚度约为3.9~4.3μm，且金镍碳复合导电润滑涂层中，镍的质量百分数为2.15%~2.53%，碳的质量百分数为4.41%~5.51%，金的质量百分数为91.68%~93.22%。
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