[发明专利]四轴驱动装置和电荷分布测量机构在审
申请号: | 201910207761.7 | 申请日: | 2019-03-19 |
公开(公告)号: | CN109813975A | 公开(公告)日: | 2019-05-28 |
发明(设计)人: | 冯志新;李书田;朱青松;李海霞;王学雷;刘向阳;姚佳 | 申请(专利权)人: | 北京电子科技职业学院 |
主分类号: | G01R29/24 | 分类号: | G01R29/24 |
代理公司: | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人: | 毕翔宇 |
地址: | 100176 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及电荷分布测量技术领域,尤其是涉及一种四轴驱动装置和电荷分布测量机构。四轴驱动装置包括第一驱动装置、第二驱动装置、第三驱动装置和第四驱动装置;第一驱动装置和第四驱动装置均为旋转驱动;第一驱动装置与第四驱动装置的旋转轴线垂直;第二驱动装置和第三驱动装置为直线驱动,且第二驱动装置与第三驱动装置的驱动方向垂直;第二驱动装置的行进方向与第一驱动装置的旋转轴线平行;第一驱动装置的旋转轴线、第三驱动装置的行进方向和第四驱动装置的旋转轴线两两垂直。本发明能够将探针达到任意结构的最佳测量位置,使得测量的结果能够更加的准确。 | ||
搜索关键词: | 驱动装置 第一驱动装置 第二驱动装置 旋转轴线 电荷分布 四轴驱动 测量机构 垂直 行进 测量技术领域 最佳测量位置 两两垂直 驱动方向 旋转驱动 直线驱动 探针 平行 测量 | ||
【主权项】:
1.一种四轴驱动装置,其特征在于,包括第一驱动装置、第二驱动装置、第三驱动装置和第四驱动装置;所述第一驱动装置和所述第四驱动装置均为旋转驱动;所述第一驱动装置的旋转轴线与所述第四驱动装置的旋转轴线垂直;所述第二驱动装置和所述第三驱动装置均为直线驱动,且所述第二驱动装置的驱动方向与所述第三驱动装置的驱动方向垂直;所述第二驱动装置的行进方向与所述第一驱动装置的旋转轴线平行;所述第一驱动装置的旋转轴线、所述第三驱动装置的行进方向和所述第四驱动装置的旋转轴线两两垂直。
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