[发明专利]一种自带膜系切换功能的基板装载板及其镀膜方法在审
| 申请号： | 201910208593.3 | 申请日： | 2019-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN109763096A | 公开（公告）日： | 2019-05-17 |
| 发明（设计）人： | 马淑莹;戴秀海;范滨 | 申请（专利权）人： | 光驰科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/50 |
| 代理公司： | 上海申蒙商标专利代理有限公司 31214 | 代理人： | 周宇凡 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及薄膜制备技术领域，尤其涉及一种自带膜系切换功能的基板装载板及其镀膜方法，其特征在于：所述基板装载板包括底板及治具板，所述治具板安装在所述底板上且可在所述底板上产生使两者相对位置发生变化的位移；所述底板上开设有漏膜区域，所述治具板上开设有与各所述镀膜区域相对应的掩膜孔，通过所述治具板在所述底板上的位移使所述掩膜孔与所述漏膜区域之间构成对正贯通或错位阻断以对所述镀膜基板的同一侧表现的不同镀膜区域进行逐一镀膜。本发明的优点是：能对同一镀膜基板的不同镀膜区域镀不同膜系，且保证镀膜基板的不同镀膜区域之间不会产生不良影响，不同膜系之间不会产生不良影响。 | ||
| 搜索关键词： | 底板 镀膜区域 治具板 膜系 镀膜基板 基板装载 镀膜 膜区域 掩膜 自带 薄膜制备技术 对正 错位 贯通 保证 表现 | ||
【主权项】：
1.一种自带膜系切换功能的基板装载板，用于对同一镀膜基板的同一侧表面的不同镀膜区域镀不同膜系，其特征在于：所述基板装载板包括底板及治具板，所述治具板安装在所述底板上且可在所述底板上产生使两者相对位置发生变化的位移；所述底板上开设有漏膜区域，所述治具板上开设有与各所述镀膜区域相对应的掩膜孔，通过所述治具板在所述底板上的位移使所述掩膜孔与所述漏膜区域之间构成对正贯通或错位阻断以对所述镀膜基板的同一侧表现的不同镀膜区域进行逐一镀膜。
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