[发明专利]一种基于激光烧蚀平面叉指电极气体传感器的制备方法

摘要

本发明公开了一种基于激光烧蚀平面叉指电极气体传感器的制备方法，该气体传感器主要包括加热装置、叉指电极和气敏薄膜三部分。在叉指电极基片上磁控溅射金属薄膜，利用激光光束将金属薄膜烧蚀分割为两部分，即可形成叉指电极；叉指电极的电极宽度、电极长度和电极间距分别通过激光切割机载物台的X轴、Y轴扫描空程和激光光斑大小进行有效地控制。在上述激光烧蚀分割的平面叉指电极上表面，可直接进行气敏薄膜制备。将制备气敏薄膜的平面叉指电极和加热装置进行叠放，夹持叉指电极基片和加热装置基片在保护气体氛围下共烧结，即可实现基于激光烧蚀平面叉指电极气体传感器的制备。实验结果证明。

主权项

1.一种基于激光烧蚀平面叉指电极气体传感器的制备方法，其特征在于，按以下步骤实现：(1)根据激光烧蚀叉指电极传感器的设计要求，切割、清洗叉指电极基片，利用磁控溅射技术沉积金薄膜电极，用激光切割机将金属薄膜电极烧蚀分割为两部分，形成平面叉指电极；(2)所述的叉指电极基片，是指下述任意一种材料的叉指电极基片：石英玻璃；氧化铝；氮化铝；(3)根据检测气体的种类要求，在平面叉指电极的上表面，利用化学法、电化学法或气相沉积法直接生长各种气敏薄膜，或采用丝网印刷法、浸渍法、提拉法和刀片法制备气敏薄膜；(4)根据气体传感器的设计要求，切割、清洗加热装置基片，通过磁控溅射技术和剥离工艺，在加热装置基片的表面形成加热电极；或直接外置加热电极；(5)在加热装置基片的上表面四周，注射低熔点玻璃粉，在190‑210℃范围内烧结10‑15min，并进行修整，防止高温烧结过程中封装截面的不均匀性；(6)采用高温烧结工艺，把通过(1)‑(3)步骤形成的制备气敏薄膜的叉指电极和(4)‑(5)步骤形成的加热装置进行叠放，夹持叉指电极基片和加热装置基片，在高温炉温度范围为465‑485℃条件下，气体保护恒温烧结10‑15min。