[发明专利]溅射机环件孔位检测工具及方法在审
| 申请号： | 201910210309.6 | 申请日： | 2019-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN109900191A | 公开（公告）日： | 2019-06-18 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;陈文庆 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/24 | 分类号： | G01B5/24 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 丁睿 |
| 地址： | 315000 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种溅射机环件孔位检测工具及方法，涉及溅射机环件检测技术领域，本发明提供的溅射机环件孔位检测工具包括检具以及多个销子，检具具有一用于与待测环件内表面贴合的外圆周面，检具上还具有多个插装孔，每一个插装孔用于插装一个销子，任意相邻两个插装孔的轴线之间的夹角角度为标准夹角角度，插装孔的孔径等于标准环件安装孔的孔径。本发明提供的溅射机环件孔位检测工具根据销子是否能够通过安装孔插入插装孔中，便可以检测出任意相邻两个安装孔轴线之间夹角角度是否标准，检测过程简单，不会对环件造成额外的破坏，检测效率较高。 | ||
| 搜索关键词： | 环件 插装孔 溅射机 孔位检测 安装孔 检具 销子 检测 检测技术领域 内表面贴合 工具包括 外圆周面 标准环 测环 插装 | ||
【主权项】：
1.一种溅射机环件孔位检测工具，其特征在于，包括检具以及多个销子，所述检具具有一用于与待测环件内表面贴合的外圆周面，所述检具上还具有多个插装孔，每一个所述插装孔用于插装一个所述销子，任意相邻两个所述插装孔的轴线之间的夹角角度为标准夹角角度，所述插装孔的孔径等于标准环件安装孔的孔径。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波江丰电子材料股份有限公司，未经宁波江丰电子材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910210309.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
