[发明专利]感放射线性组合物和1;2-萘醌-2-二叠氮磺酸衍生物在审
| 申请号： | 201910212542.8 | 申请日： | 2019-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN110361932A | 公开（公告）日： | 2019-10-22 |
| 发明（设计）人： | 三村时生;角田裕志;仓田亮平;工藤和生 | 申请（专利权）人： | JSR株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/008;C07C315/00;C07C317/44 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 左嘉勋;顾晋伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： |
本发明提供一种感放射线性组合物，其具有优异的辐照灵敏度和分辨率，能够发挥高的电压保持特性。一种感放射线性组合物，含有：碱溶性聚合物(A)、以及具有选自由式(b1)表示的结构和由式(b2)表示的结构中的至少1种结构(bb)的化合物(B)。[式(b1)和(b2)中，X为吸电子基团或卤素原子，在X为多个时可以分别相同或不同，n1为0～3的整数，n2为0～2的整数，其中，n1+n2为1以上，n3为0～4的整数，n4为0～1的整数，其中，n3+n4为1以上，*为结合位点。] |
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| 搜索关键词： | 感放射线性组合物 电压保持特性 碱溶性聚合物 磺酸衍生物 吸电子基团 辐照 结合位点 卤素原子 灵敏度 分辨率 叠氮 萘醌 | ||
【主权项】：
1.一种感放射线性组合物，含有：碱溶性聚合物A、以及具有选自由式(b1)表示的结构和由式(b2)表示的结构中的至少1种结构(bb)的化合物B，![]()
式(b1)和(b2)中，X为吸电子基团或卤素原子，在X为多个时可以分别相同或不同，n1为0～3的整数，n2为0～2的整数，其中，n1+n2为1以上，n3为0～4的整数，n4为0～1的整数，其中，n3+n4为1以上，*为结合位点。
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