[发明专利]一种发光光斑均匀的VCSEL激光器在审
| 申请号： | 201910212597.9 | 申请日： | 2019-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN109728503A | 公开（公告）日： | 2019-05-07 |
| 发明（设计）人： | 罗玉辉;程元红 | 申请（专利权）人： | 深圳新亮智能技术有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183;H01S5/187 |
| 代理公司： | 广州市越秀区海心联合专利代理事务所(普通合伙) 44295 | 代理人： | 王洪娟;冼俊鹏 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种发光光斑均匀的VCSEL激光器，包括由下而上依次层叠的N型金属电极层、基底、N型布拉格反射镜、有源层、过渡层、氧化层、P型布拉格反射镜和环状金属电极层；在所述的环状金属电极层远离P型布拉格反射镜的一面设有透明导电膜；所述的透明导电膜覆盖环状金属电极层及位于环状金属电极层中部露出的P型布拉格反射镜；所述的透明导电膜与环状金属电极层电性连接。其优点在于：本发明所述的VCSEL激光器的出射光斑均匀，有利于拓展VCSEL激光器在多个方面的应用。 | ||
| 搜索关键词： | 环状金属电极 布拉格反射镜 透明导电膜 发光光斑 电性连接 多个方面 光斑均匀 依次层叠 过渡层 氧化层 出射 基底 源层 覆盖 拓展 应用 | ||
【主权项】：
1.一种发光光斑均匀的VCSEL激光器，包括由下而上依次层叠的N型金属电极层(101)、基底(102)、N型布拉格反射镜(103)、有源层(104)、过渡层(105)、氧化层(106)、P型布拉格反射镜(107)和环状金属电极层(108)；其特征在于，在所述的环状金属电极层(108)远离P型布拉格反射镜(107)的一面设有透明导电膜(109)；所述的透明导电膜(109)覆盖环状金属电极层(108)及位于环状金属电极层(108)中部露出的P型布拉格反射镜(107)；所述的透明导电膜(109)与环状金属电极层(108)电性连接。
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