[发明专利]一种共用驱动轴的多级真空泵在审
申请号: | 201910213227.7 | 申请日: | 2019-03-20 |
公开(公告)号: | CN111720328A | 公开(公告)日: | 2020-09-29 |
发明(设计)人: | 潇然 | 申请(专利权)人: | 上海伊莱茨真空技术有限公司;潇然;苏州伊莱茨流体装备有限公司 |
主分类号: | F04C23/02 | 分类号: | F04C23/02;F04C25/02;F04C29/00 |
代理公司: | 北京汇智英财专利代理事务所(普通合伙) 11301 | 代理人: | 郑玉洁 |
地址: | 201799 上海市青浦区*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种共用驱动轴的多级真空泵,包括多个真空驱动腔串联或并联连接形成多级真空驱动腔,每个独立的真空驱动腔内设置至少一转子,第一级真空驱动腔的入口直通大气,其中至少有两个真空驱动腔以一共用驱动轴驱动,其中该共用驱动轴包括至少两个分离驱动轴。所述多个真空驱动腔组成的真空泵可以是采用共轴的多级泵,例如多级罗茨泵,采用单一电机驱动,也可以是至少一个非共轴真空驱动腔均采用独立或共享的驱动电机驱动。由于采用分段式驱动轴,每个真空腔内的一对叶轮及轴的热胀冷缩不会被传递到轴向相邻的另外的真空腔室,也不会受到轴向相邻腔室热胀冷缩的影响。 | ||
搜索关键词: | 一种 共用 驱动 多级 真空泵 | ||
【主权项】:
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