[发明专利]工件推压机构、张网机和蒸镀系统有效
| 申请号： | 201910218353.1 | 申请日： | 2019-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN111719117B | 公开（公告）日： | 2021-11-12 |
| 发明（设计）人： | 李旭;李新振 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种工件推压机构、张网机和蒸镀系统，所述工件推压机构结构简单，成本低，能够兼容压紧工件及驱动工件水平向运动的功能，减小水平向占用空间。本发明的张网机和蒸镀系统，具有多个所述工件推压机构，能够通过这些工件推压机构的配合，实现掩膜框架的精对准及压紧，有利于降低掩膜版和掩膜框架的结合难度，进而有利于显示产品的质量、精度以及良品率的提高。 | ||
| 搜索关键词： | 工件 机构 张网机 系统 | ||
【主权项】：
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