[发明专利]一种活动密封装置有效
| 申请号： | 201910218689.8 | 申请日： | 2019-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN110067493B | 公开（公告）日： | 2020-10-09 |
| 发明（设计）人： | 齐威;孟璐璐;李璟;齐月静;宗明成;王宇;杨光华;陈进新;苏佳妮;张清洋;卢增雄 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | E06B7/18 | 分类号： | E06B7/18;E06B7/28 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 房德权 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种活动密封装置，应用于具有密封要求和活动开口的系统，包括：活动门，活动门设置在所述系统的腔体外侧，对所述腔体进行密封；十字转盘，十字转盘设置在所述活动门的中心位置，与所述活动门可转动连接；拉杆机构，拉杆机构的一端分别经过所述活动门的四个顶角处与所述腔体连接，另一端所述十字转盘连接；压紧机构，压紧机构设置在所述活动门内侧，位于所述活动门四周边缘处，对腔体进行压紧密封。解决现有技术中活动门密封效果不佳，使用的端面密封存在压力不均匀和压力弱的技术问题，达到了通过一个转盘带动活动门四周的压紧机构同时压紧，保证活动门周边的密封压紧同步性和均匀性，密封效果佳的技术效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 活动 密封 装置 | ||
【主权项】：
1.一种活动密封装置，应用于具有密封要求和活动开口的系统，其特征在于，所述装置包括：活动门，所述活动门设置在所述系统的腔体外侧，对所述腔体进行密封；十字转盘，所述十字转盘设置在所述活动门的中心位置，与所述活动门可转动连接；拉杆机构，所述拉杆机构的一端分别经过所述活动门的四个顶角处与所述腔体连接，另一端所述十字转盘连接；压紧机构，所述压紧机构设置在所述活动门内侧，位于所述活动门四周边缘处，对所述腔体进行压紧密封。
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