[发明专利]平坦度检测方法、平坦度检测装置及存储介质有效
| 申请号： | 201910221411.6 | 申请日： | 2019-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN110487189B | 公开（公告）日： | 2022-11-22 |
| 发明（设计）人： | 森田淳司;玄马大地 | 申请（专利权）人： | 胜美达集团株式会社 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01B11/24;G01B11/26;G01B11/30;G06T7/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 韩香花;崔成哲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供平坦度检测方法、平坦度检测装置及存储介质。在本发明中，可以与测定条件无关地准确地检测出元件的倾斜度，从而提高元件的检查精度。本发明的平坦度检测方法，其是根据由3D相机对电子元件进行拍摄所得到的拍摄数据来检测元件的平坦度，通过如下步骤而实现：基准点信息取得步骤，取得与电子元件的多个基准点相关的位置信息及高度信息；虚拟平面生成步骤，根据从多个基准点中所选择的至少三个选择点的位置信息及高度信息来生成虚拟平面；虚拟平面判定步骤，根据以基准点中的选择点除外的基准点的虚拟平面为基准的高度信息来判定该虚拟平面是有效平面还是无效平面；以及平坦度检测步骤，以有效平面为基准来检测元件的平坦度。 | ||
| 搜索关键词： | 平坦 检测 方法 装置 存储 介质 | ||
【主权项】：
1.一种平坦度检测方法，其是根据由拍摄装置对元件进行拍摄所得到的拍摄数据来检测上述元件的平坦度，包括：/n基准点信息取得步骤，取得与上述元件的多个基准点相关的位置信息及高度信息；/n虚拟平面生成步骤，根据从多个上述基准点中选择的至少三个选择点的上述位置信息及上述高度信息来生成虚拟平面；/n虚拟平面判定步骤，根据以上述选择点除外的上述基准点的上述虚拟平面为基准的上述高度信息来判定该虚拟平面是有效平面还是无效平面；以及/n平坦度检测步骤，以上述有效平面为基准来检测上述元件的平坦度。/n
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