[发明专利]高强度高导热氮化硅基板的生产方法

摘要

高强度高导热氮化硅基板的生产方法，具体步骤：一、备料：A、氮化硅基板；B、准备覆盖料；二、压模：首先，在模具中添加覆盖料，其次加入基板料，最后加入覆盖料，压实后形成三明治胚料。三、烧结：把上述成型的三明治胚料放入震荡热压炉的石墨板夹层中，在震荡、加压、氮气保护下进行热夯实烧结；四、机加工：将覆盖料刮去，氮化硅基板胚子经加工磨光即可成为产品。本发明的优点是：1、覆盖料起到了增强薄片基板胚料强度的作用，使其转移操作时不开裂，在烧结的过程中，保护薄片。2、在压模过程中没有使用胶粘剂，节能，使基板密度更高。3、粉胚料是在震荡热压中被强迫的扩散与传质，强度高，提高了导热率。

主权项

1.高强度高导热氮化硅基板的生产方法，所述基板的的尺寸主要是边长为100mm‑200mm的正方形或长方形，板厚为0.3‑0.7mm，所述基板的成分，按重量比例如下：氮化硅78‑82份，三氧化二镱0.5‑1.5份，氧化鎂7‑9份，氧化钇0.5‑1.5份，其特征在于，具体步骤如下：一、备料：A、将上述原料粉末用砂磨机磨细，粒径D₅₀0.5微米，真空搅拌、真空烘干，造粒，用80目筛网过筛；B、准备覆盖料，覆盖料的成分按重量比例为氮化硼6，碳化硼4，上述两种粉末混合均匀后得覆盖料；二、压模：使用边长为100mm‑200mm的长方形或正方形、高10‑20mm的框形模具和程控压机，首先，在模具中添加覆盖料，刮平，按800kg/cm²的压力压平；其次加入基板料，刮平，按800kg/cm²的压力压平；最后加入覆盖料，刮平；按1200kg/cm²的压力压平，保压20秒钟后，被压实的三层胚料出模，这种上下有覆盖料，中间为基板料的胚料，俗称三明治胚料，在这种压实后的三明治胚料中，上下两层覆盖料厚度相等，每层覆盖料和基板料厚度之比为1.5‑2:1，考虑到烧结时胚料的收缩，基板胚料的厚度为烧成厚度的1.5‑1.7倍；三、烧结、机加工。