[发明专利]一种具有振动隔离嵌套结构的检测装置有效
| 申请号： | 201910224154.1 | 申请日： | 2019-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN110031027B | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 齐威;孟璐璐;宗明成;齐月静;李璟;王宇;卢增雄;杨光华;张清洋;苏佳妮;陈进新 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01D5/26 | 分类号： | G01D5/26;G01D11/00 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 房德权 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有振动隔离嵌套结构的检测装置，涉及光学性能参数检测技术领域，所述装置包括：微环境控制模块，所述微环境控制模块包括上层气浴单元和下层气浴单元，其中，所述上层气浴单元位于所述检测装置的上层，所述下层气浴单元位于所述上层气浴单元下方；带有隔振器的光学检测台架，所述带有隔振器的光学检测台架设置在所述上层气浴单元和所述下层气浴单元之间；位移台模块，所述位移台模块位于所述微环境控制模块下方，与所述微环境控制模块和所述带有隔振器的光学检测台架相互独立。达到了阻断微环境控制模块所产生的振动，实现检测环境的绝对安静，提高检测精度的技术效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 振动 隔离 嵌套 结构 检测 装置 | ||
【主权项】：
1.一种具有振动隔离嵌套结构的检测装置，其特征在于，所述装置包括：微环境控制模块，所述微环境控制模块包括上层气浴单元和下层气浴单元，其中，所述上层气浴单元位于所述检测装置的上层，所述下层气浴单元位于所述上层气浴单元下方；带有隔振器的光学检测台架，所述带有隔振器的光学检测台架设置在所述上层气浴单元和所述下层气浴单元之间；位移台模块，所述位移台模块位于所述微环境控制模块下方，与所述微环境控制模块和所述带有隔振器的光学检测台架相互独立。
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