[发明专利]一种电子气体尾气的回收方法及装置在审
| 申请号： | 201910225154.3 | 申请日： | 2019-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN109772108A | 公开（公告）日： | 2019-05-21 |
| 发明（设计）人： | 宋兴桥 | 申请（专利权）人： | 天津中科拓新科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/18 | 分类号： | B01D53/18;B01D53/14;B01D5/00 |
| 代理公司： | 天津一同创新知识产权代理事务所(普通合伙) 12231 | 代理人： | 王丽 |
| 地址： | 300350 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种电子气体尾气的回收利用方法及装置，首先将电子气体尾气送入吸收塔下部，吸收剂由塔顶进入，塔底物料作为原料输送至脱轻塔，塔顶采出轻杂质；吸收塔塔底物料在脱轻塔中进行分离，塔顶采出轻组分，塔釜一部分作为吸收剂返回吸收塔顶部，一部分作为原料输送至脱重塔；脱重塔塔顶采出电子气体产品，塔釜物料进入吸收剂回收塔；吸收塔顶部气体先进入预处理塔脱除部分重组分，预处理塔塔顶采出稀有气体依次进人一级冷阱、二级冷阱，冷凝液返回预处理塔，未经冷凝的气体即为高纯度的稀有气体；脱重塔底部物料进入吸收剂回收塔后，塔顶采出轻杂质，塔底采出重杂质，底部侧线采出吸收剂返回吸收塔顶部。电子气体回收率90‑99％。 | ||
| 搜索关键词： | 吸收塔 塔顶 电子气体 吸收剂 预处理塔 脱重塔 尾气 塔底物料 稀有气体 原料输送 回收塔 轻杂质 脱轻塔 冷阱 返回 回收利用 塔釜物料 高纯度 冷凝液 重杂质 冷凝 侧线 塔釜 脱除 回收率 送入 回收 | ||
【主权项】：
1.一种电子气体尾气的回收方法，其特征是包括以下步骤：(1)首先将电子气体尾气送入吸收塔下部，吸收剂由塔顶进入，通过吸收塔的作用，将电子气体尾气中大部分有机组分吸收到塔底，并作为原料输送至脱轻塔，未被吸收的稀有气体夹带少量轻杂质从塔顶采出；(2)吸收塔塔底物料在脱轻塔中进行分离，塔顶采出轻组分，塔釜一部分作为吸收剂返回吸收塔顶部，一部分作为原料输送至脱重塔；(3)在脱重塔的作用下，脱重塔塔顶采出高纯度的电子气体产品，塔釜物料进入吸收剂回收塔；(4)吸收塔顶部含杂质的稀有气体先进入预处理塔脱除部分重组分，预处理塔塔顶采出含杂质的稀有气体依次进人一级冷阱、二级冷阱，在冷阱的作用下，稀有气体和杂质进一步分离，经冷阱冷凝后的冷凝液返回预处理塔，未经冷凝的气体即为高纯度的稀有气体；(5)脱重塔底部物料进入吸收剂回收塔后，塔顶采出轻杂质，塔底采出重杂质，底部侧线采出吸收剂返回吸收塔顶部。
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