[发明专利]一种无损、高精度掩模图形的分层提取方法在审
| 申请号： | 201910225365.7 | 申请日： | 2019-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN110033441A | 公开（公告）日： | 2019-07-19 |
| 发明（设计）人： | 张鹏;魏晓群;华卫群;丁鼎 | 申请（专利权）人： | 无锡中微掩模电子有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00 |
| 代理公司： | 连云港联创专利代理事务所(特殊普通合伙) 32330 | 代理人： | 刘刚 |
| 地址： | 214000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明一种无损、高精度掩模图形的分层提取方法，读取灰度掩模图片时，将灰度空间设定相应的阈值GTH，将符合条件的像素点归一化灰度值为1，不符合条件的像素点归一化灰度值为0：将不同灰度的二进制文件转成GDSII版图数据格式时选择打平命令将其层次化设计的单元打平，打平后的总图包含了所有需要制作图层的同一层次上的图形。对转化成的GDSII版图数据格式进行评价，至少包含转换是否正确、图层是否清晰和是否有缺陷的评价。本发明的无损、高精度掩模图形的分层提取方法可以将含有灰阶信息的BMP图片进行分层提取处理成GDS格式图片，用于套刻；可以将多层套刻图形处理成灰度掩模图形，用于灰度掩模光刻；减少了处理工作量，提高图形质量，提高了精度。 | ||
| 搜索关键词： | 分层 灰度掩模 掩模图形 灰度 无损 版图数据 符合条件 归一化 像素点 套刻 图层 读取 层次化设计 二进制文件 灰度空间 灰阶信息 提取处理 图形处理 多层 光刻 工作量 图片 转换 清晰 制作 转化 | ||
【主权项】：
1.一种无损、无损、高精度掩模图形的分层提取方法，其特征在于：包括如下步骤：步骤一：读取灰度掩模图片的灰度阶数并二进制化；步骤二：根据不同灰度阶数提取不同灰度阶数的二进文件；步骤三：定义每单元像素的大小1μm×1μm；步骤四：将不同灰度的二进制文件转成GDSII版图数据格式，定义左下角像素在GDS格式中坐标为(1,1)；读取灰度掩模图片时，将灰度空间设定相应的阈值GTH，将符合条件的像素点归一化灰度值为1，不符合条件的像素点归一化灰度值为0：![]()
其中Thresholdx,y为二值化后图片上(x,y)像素点的归一化灰度值；在得到的灰度图像上搜索灰度值最大的像素点(X,Y)，归一化灰度值为Gmax，令阈值GTH＝pGmax。
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