[发明专利]喷淋头和衬底处理设备在审
| 申请号： | 201910225395.8 | 申请日： | 2019-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN110391124A | 公开（公告）日： | 2019-10-29 |
| 发明（设计）人： | 爱德华·成;邦晋荣;金爀;赵诚一 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 汪洋 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 根据本发明构思的实施例的喷淋头包括：具有多个气体供给通道的上板，具有形成在下表面中的多个供给孔和多个排气槽的下板，以及在所述上板和所述下板之间的多个分隔壁，所述多个分隔壁连接到所述多个排气槽并限定在喷淋头的侧部开口的排气通道。 | ||
| 搜索关键词： | 喷淋头 排气槽 上板 下板 隔壁 衬底处理设备 气体供给通道 侧部开口 发明构思 排气通道 供给孔 | ||
【主权项】：
1.一种用在衬底处理设备中的喷淋头，该喷淋头包括：上板，该上板包括多个气体供给通道；下板，该下板包括在下板的下表面中限定的多个供给孔和多个排气槽；以及多个分隔壁，所述多个分隔壁位于上板和下板之间，并限定在喷淋头的侧部开口的排气通道。
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