[发明专利]激光器输出光空间相干性抑制装置在审
| 申请号： | 201910226513.7 | 申请日： | 2019-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN109814270A | 公开（公告）日： | 2019-05-28 |
| 发明（设计）人： | 冯鹏;唐锋;王向朝 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B27/48 | 分类号： | G02B27/48;G01D5/353 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种激光器输出光空间相干性抑制装置，包括激光器、扩束镜、聚焦透镜、第一毛玻璃、传输光纤、成像透镜、第二毛玻璃、匀光棒、成像透镜、第三毛玻璃。本发明利用第一毛玻璃破坏激光器输出光的空间相干性，利用传输光纤模间色散效应及匀光棒的非相干叠加原理进一步抑制光束的空间相干性；通过两个成像透镜调节照明NA(数值孔径)与照明视场的大小；通过第二毛玻璃、第三毛玻璃增强照明光场和照明光瞳的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 毛玻璃 空间相干性 激光器 成像透镜 输出光 传输光纤 抑制装置 匀光棒 非相干叠加 聚焦透镜 模间色散 数值孔径 照明光场 照明光瞳 照明视场 均匀性 扩束镜 | ||
【主权项】：
1.一种激光器输出光空间相干性抑制装置，其特征在于，包括激光器(1)、扩束镜(2)、聚焦透镜(3)、第一毛玻璃(401)、传输光纤(602)、第一成像透镜(701)、匀光棒(8)和第二成像透镜(702)；所述的激光器(1)输出的激光束依次经所述的扩束镜(2)、聚焦透镜(3)和第一毛玻璃(401)正入射至所述的传输光纤(602)的光纤输入端(601)，该光纤输入端(601)位于所述的聚焦透镜(3)的焦点位置，且与该聚焦透镜(3)平行，经传输光纤(602)传输的激光束由光纤输出端(603)输出，经所述的第一成像透镜(701)成像至匀光棒(8)的前端面后，经匀光棒(8)传输至其后端面，再经第二成像透镜(702)成像至照明光场(G1)，形成照明光瞳(G2)。
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