[发明专利]喷淋结构及化学源供给系统在审
| 申请号： | 201910230796.2 | 申请日： | 2019-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN109939618A | 公开（公告）日： | 2019-06-28 |
| 发明（设计）人： | 王卓 | 申请（专利权）人： | 沈阳拓荆科技有限公司 |
| 主分类号： | B01J4/00 | 分类号： | B01J4/00 |
| 代理公司： | 沈阳维特专利商标事务所(普通合伙) 21229 | 代理人： | 甄玉荃 |
| 地址： | 110179 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种喷淋结构，其包含：多孔性基体筛板，其系用以使来自化学源的气流均匀分布；及固定架，其系用来支撑前述多孔性基体筛板。 | ||
| 搜索关键词： | 多孔性基体 喷淋结构 化学源 筛板 供给系统 气流均匀 固定架 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种喷淋结构，其包含：多孔性基体筛板，其系用以使来自化学源的气流均匀分布；及固定架，其系用来支撑前述多孔性基体筛板。
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