[发明专利]用于超大型空间环境模拟器的真空抽气系统及其配置方法

摘要

本发明公开了一种超大型空间环境模拟设备真空系统，包括低温泵系统、分子泵系统、粗抽系统，各分系统通过真空容器预留法兰实现与真空容器的连接，真空容器内部安装有热沉和过渡抽气冷板，真空容器上同时安装有真空测量仪器用于实现真空容器内的压力监测。本发明也公开了一种抽气工艺。本发明采用无油清洁真空泵组，且设置液氮冷阱等辅助工艺设备，可以有效阻隔油蒸汽进入真空容器，同时具有辅助抽气的作用，在超大型空间环境模拟器实现清洁真空、低污染量的指标。

主权项

1.超大型空间环境模拟设备真空系统，包括低温泵系统、分子泵系统、粗抽系统，各分系统通过真空容器预留法兰实现与真空容器的连接，真空容器内部安装有热沉和过渡抽气冷板，真空容器上同时安装有真空测量仪器用于实现真空容器内的压力监测；其中：低温泵系统按照安装顺序依次由低温泵入口真空插板阀、低温泵全量程真空规、低温泵、低温泵预抽真空阀、低温泵前级管道低真空规、低温泵前级管道放气阀、低温泵前级泵入口阀和低温泵前级干泵组成，以上所有设备部件通过真空管道实现串联连接；分子泵系统按照安装顺序依次由分子泵入口真空插板阀、分子泵全量程真空规、分子泵、分子泵预抽真空阀、分子泵前级管道低真空规、分子泵前级管道放气阀、分子泵前级泵入口阀和分子泵前级干泵组成，以上所有设备部件通过真空管道实现串联连接；粗抽系统按照安装顺序依次由粗抽压力平衡阀、粗抽入口真空插板阀、粗抽主管道低真空规、主管道液氮冷阱、主抽管道真空放气阀、罗茨泵入口蝶阀、粗抽支管道低真空规、第一级罗茨泵、第一级罗茨泵旁通蝶阀、第二级罗茨泵、粗抽螺杆干泵和排气消音器组成，以上所有设备部件通过真空管道实现串联连接。