[发明专利]一种剪切增稠-电泳复合抛光方法在审
| 申请号： | 201910231076.8 | 申请日： | 2019-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN110026828A | 公开（公告）日： | 2019-07-19 |
| 发明（设计）人： | 李敏;宋方增;董婷;刘明辉;黄振荣;唐成 | 申请（专利权）人： | 湖南科技大学 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;B24B41/06;B24B57/02 |
| 代理公司： | 杭州斯可睿专利事务所有限公司 33241 | 代理人： | 王利强 |
| 地址： | 411201 *** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 一种剪切增稠‑电泳复合抛光方法，包括如下步骤：1)选用工件夹具，将其安装在机械臂上；2)将工件装夹在工件夹具上；3)配置具有剪切增稠‑电泳复合效应的抛光液，并将抛光液置于输液管内；4)将抛光液输入到抛光盘上，启动主轴带动抛光盘；5)启动剪切增稠效应控制用机械臂、电泳效应控制用直流电源，在机械臂的作用下，工件表面接触具有剪切增稠‑电泳复合效应的抛光液，并提供载荷，主动控制工件微转动，同时电源电极两端产生磨料颗粒的电泳效应，形成抛光液与工件表面的高度吻合与材料去除，实现剪切增稠‑电泳复合抛光。本发明提供一种高效的、低/无表面损伤或亚表面损伤的剪切增稠‑电泳复合超精密抛光方法。 | ||
| 搜索关键词： | 剪切增稠 电泳 抛光液 复合抛光 机械臂 电泳效应 复合效应 工件表面 工件夹具 抛光盘 超精密抛光 亚表面损伤 表面损伤 材料去除 电源电极 工件装夹 磨料颗粒 效应控制 直流电源 主动控制 输液管 转动 吻合 复合 配置 | ||
【主权项】：
1.一种剪切增稠‑电泳复合抛光方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：1)选用工件夹具，将其安装在机械臂上；2)将工件装夹在工件夹具上；3)配置具有剪切增稠‑电泳复合效应的抛光液，并将抛光液置于输液管内；4)将抛光液输入到抛光盘上，启动主轴带动抛光盘，使得抛光液在抛光盘上相对运动；5)启动剪切增稠效应控制用机械臂、电泳效应控制用直流电源，在机械臂的作用下，工件表面接触具有剪切增稠‑电泳复合效应的抛光液，并提供载荷，主动控制工件微转动，同时电源电极两端产生磨料颗粒的电泳效应，形成抛光液与工件表面的高度吻合与材料去除，实现剪切增稠‑电泳复合抛光。
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