[发明专利]一种用于制备石墨烯薄膜的沉积装置及方法

摘要

本发明涉及一种用于制备石墨烯薄膜的沉积装置及方法，所述装置包括主腔室、进样室、加热装置、传样杆、供气装置、样品托、插板阀及抽气装置。其中主腔室用于薄膜材料的制备，进样室用于制备衬底的准备。本发明采用不锈钢腔壁，使用分子泵+机械泵的抽气装置，本底真空可达到10^‑8mbar，充分减少杂质气体分子对生长过程造成的影响。采用的内加热方式，不仅能降低能耗，提高恒温区均匀性，具备移动降温功能，可实现快速降温，有效减少降温过程中碳原子的析出，可以高效、节能的制备石墨烯。

主权项

1.一种用于制备石墨烯薄膜的沉积装置及方法，其特征在于，所述装置包括主腔室103、进样室106、加热装置104、传样杆108、供气装置105、样品托107、插板阀102及抽气装置101，所述样品托107位于传样杆108顶端，两者之间活动连接，传样杆与进样室连接，进样室与主腔室连接，主腔室与插板阀连接，插板阀与抽气装置连接。