[发明专利]一种基于金属微观结构的精密模具有效
| 申请号： | 201910231904.8 | 申请日： | 2019-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN110076940B | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 解婧;王欢;郜晨希;邢建鹏;李超波 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | B29C33/42 | 分类号： | B29C33/42;B29C45/26;C25D1/10 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 房德权 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供的一种基于金属微观结构的精密模具，包括：衬底；牺牲层，所述牺牲层附着于所述衬底上；结构层，所述结构层嵌于所述牺牲层内，且所述结构层的底面位于所述牺牲层内部；三维结构内部腔体，所述三维结构内部腔体位于所述结构层内部；三维结构腔体外部通孔，所述三维结构腔体外部通孔与所述三维结构内部腔体相连通。解决了现有技术中成型技术对金属材料的消耗大、制造成本高，对特殊三维结构的成型精度难以控制的技术问题。达到了高精度的对任意结构微型金属模具的立体三维机械加工，降低加工成本，减小精密微小零件装配带来的对准容差及废品率的技术效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 金属 微观 结构 精密 模具 | ||
【主权项】：
1.一种基于金属微观结构的精密模具，其特征在于，所述模具包括：衬底，所述衬底为固体材料的支撑衬底；牺牲层，所述牺牲层附着于所述衬底上；结构层，所述结构层嵌于所述牺牲层内，且所述结构层的底面位于所述牺牲层内部，所述结构层的顶面裸露在所述牺牲层之上；三维结构内部腔体，所述三维结构内部腔体位于所述结构层内部；三维结构腔体外部通孔，所述三维结构腔体外部通孔设置在所述结构层上表面上，且所述三维结构腔体外部通孔与所述三维结构内部腔体相连通。
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