[发明专利]真空设备放气成分收集装置在审
申请号: | 201910232394.6 | 申请日: | 2019-03-26 |
公开(公告)号: | CN109854484A | 公开(公告)日: | 2019-06-07 |
发明(设计)人: | 赫梓宇;王永华;赵伟利;岳超 | 申请(专利权)人: | 核工业理化工程研究院 |
主分类号: | F04B37/14 | 分类号: | F04B37/14;F04B41/02;F04B41/06;F04B39/06;F04B39/14 |
代理公司: | 天津市宗欣专利商标代理有限公司 12103 | 代理人: | 王龑 |
地址: | 300180 *** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本发明公开了一种真空设备放气成分收集装置,包括真空设备,所述真空设备与分子泵连通,所述分子泵与收集容器连通,所述收集容器置于液氮瓶中,所述真空设备、分子泵、收集容器还与抽真空用的真空泵连通。所述真空泵的抽气口处设置有液氮冷阱。本发明使用分子泵进行收集,较扩散泵缩短了真空设备的抽气时间,获得无油污染的清洁真空环境,避免了油蒸气的污染。本发明采用液氮冷阱阻止真空泵内的油蒸气扩散至收集容器内。减少收集装置本身影响。本发明使用液氮瓶冷冻收集容器,使收集容器内保持低温、低压环境,达到加速气体收集及保持分子泵额定转速运转的目的。本发明中收集容器采用螺栓法兰结构,可以进行拆卸清洗。 | ||
搜索关键词: | 收集容器 真空设备 分子泵 收集装置 真空泵 连通 液氮冷阱 液氮瓶 油蒸气 放气 拆卸清洗 低压环境 加速气体 螺栓法兰 清洁真空 抽气口 抽真空 扩散泵 抽气 无油 冷冻 污染 扩散 运转 | ||
【主权项】:
1.一种真空设备放气成分收集装置,包括真空设备(1),其特征在于:所述真空设备(1)与分子泵(4)连通,所述分子泵(4)与收集容器(5)连通,所述收集容器(5)置于液氮瓶(6)中,所述真空设备(1)、分子泵(4)、收集容器(5)还与抽真空用的真空泵(8)连通。
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