[发明专利]一种真空设备放气成分收集方法在审
| 申请号： | 201910232401.2 | 申请日： | 2019-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN109975083A | 公开（公告）日： | 2019-07-05 |
| 发明（设计）人： | 赫梓宇;王永华;赵伟利;岳超 | 申请（专利权）人： | 核工业理化工程研究院 |
| 主分类号： | G01N1/24 | 分类号： | G01N1/24;G01N33/00 |
| 代理公司： | 天津市宗欣专利商标代理有限公司 12103 | 代理人： | 王龑 |
| 地址： | 300180 *** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空设备放气成分收集方法，包括以下步骤：连通设备、确认阀门状态、启动真空泵、启动分子泵、对真空设备进行抽空、进行气体收集、结束收集、停止分子泵、真空泵、更换新的收集容器。本发明使用分子泵进行收集，较扩散泵缩短了真空设备的抽气时间，获得无油污染的清洁真空环境，避免了油蒸气的污染。本发明采用液氮冷阱阻止真空泵内的油蒸气扩散至收集容器内。减少收集装置本身影响。本发明收集容器除气后放气量小于10‑6Pa•m3/s,减少收集装置本身影响。本发明使用液氮瓶冷冻收集容器，使收集容器内保持低温、低压环境，达到加速气体收集及保持分子泵额定转速运转的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 收集容器 真空设备 分子泵 真空泵 收集装置 油蒸气 放气 低压环境 阀门状态 加速气体 连通设备 气体收集 清洁真空 液氮冷阱 放气量 扩散泵 液氮瓶 抽气 除气 无油 抽空 污染 冷冻 扩散 运转 | ||
【主权项】：
1.一种真空设备放气成分收集方法，其特征在于：包括以下步骤：（ⅰ）连通设备（ⅱ）确认阀门状态确认设备中的阀门均处于关闭状态；（ⅲ）启动真空泵充分冷冻液氮冷阱后，启动真空泵，依次打开Ⅲ号阀门、Ⅳ号阀门、Ⅴ号阀门、Ⅵ号阀门、Ⅶ号阀门；（ⅳ）启动分子泵当真空计压力降至100Pa以下，启动分子泵；（ⅴ）对真空设备进行抽空真空计压力降至1Pa以下，使用液氮瓶冷冻收集容器，关闭Ⅱ号阀门、Ⅵ号阀门，开启Ⅰ号阀门，对真空设备进行抽空；（ⅵ）进行气体收集当真空设备内压力降至1Pa以下，关闭Ⅰ号阀门、Ⅴ号阀门，开启Ⅱ号阀门，同时将真空设备上所有抽空管线封闭，开始进行气体收集；（ⅶ）结束收集收集指定时间t后，封闭真空设备放气成分收集装置上所有阀门，结束收集；（ⅷ）停止分子泵、真空泵（ⅸ）更换新的收集容器。
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