[发明专利]涂布设备及涂布方法有效
| 申请号： | 201910234141.2 | 申请日： | 2019-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN109821702B | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | 刘杰;李淳东;苗占成;胡振华 | 申请（专利权）人： | 重庆京东方显示技术有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02;B05C11/10;B05D1/26 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 400714 重庆市*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种涂布设备及涂布方法，涉及显示面板制造领域，用于解决臭氧水制备的氧化层的致密性较差、厚度较小，以及厚度的均匀性较差的问题。其中，该涂布设备包括至少一套涂布组件，每套涂布组件包括：用于盛放涂布液体的液体腔室；一端与液体腔室连通的混合管，混合管的垂直于涂布液体流动方向的截面面积小于液体腔室的垂直于涂布液体流动方向的截面面积；与混合管的侧壁连通的调节管路，配置为向混合管内通入调节流体，以调节涂布液体的浓度；与混合管的另一端连通的作业室，配置为在进行涂布作业时位于待涂布基板的上方，作业室的与待涂布基板相对的一侧设置有用于泄出涂布液体的开口。所述涂布设备用于显示面板的制备中。 | ||
| 搜索关键词： | 布设 方法 | ||
【主权项】：
1.一种涂布设备，其特征在于，包括至少一套涂布组件，每套所述涂布组件包括：用于盛放涂布液体的液体腔室；一端与所述液体腔室连通的混合管，所述混合管的垂直于所述涂布液体流动方向的截面面积小于所述液体腔室的垂直于所述涂布液体流动方向的截面面积；与所述混合管的侧壁连通的调节管路，配置为向所述混合管内通入调节流体，以调节所述涂布液体的浓度；与所述混合管的另一端连通的作业室，配置为在进行涂布作业时位于待涂布基板的上方，所述作业室的与所述待涂布基板相对的一侧设置有用于泄出所述涂布液体的开口。
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