[发明专利]一种单晶钛酸锶薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 201910234411.X | 申请日： | 2019-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN109879310A | 公开（公告）日： | 2019-06-14 |
| 发明（设计）人： | 任召辉;武梦姣;陈嘉璐;韩高荣 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | C01G23/00 | 分类号： | C01G23/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 万尾甜;韩介梅 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单晶钛酸锶薄膜的制备方法。该方法是以硝酸锶(Sr(NO3)2)、钛酸四正丁酯(TBOT)作为主要原料，氢氧化钠(NaOH)作为矿化剂，通过调配各项原料物质的量，采用水热法实现钛酸锶(SrTiO3)单晶薄膜的合成。本发明工艺简单，易于控制，成本低，适合大规模生产。获得的外延薄膜表面完整连续，尺寸大，且SrTiO3在铌镁酸铅‑钛酸铅(PMNT)基片上的生长具有选择性。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶钛酸锶 制备 薄膜 钛酸四正丁酯 单晶薄膜 氢氧化钠 外延薄膜 铌镁酸铅 矿化剂 水热法 硝酸锶 钛酸铅 钛酸锶 调配 合成 生长 | ||
【主权项】：
1.一种单晶钛酸锶薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1)将矿化剂NaOH加入反应釜内胆中，加入去离子水搅拌，获得摩尔浓度为4mol/L的NaOH溶液；2)将Sr(NO3)2、TBOT依次加入步骤1)所得溶液中，调节锶钛摩尔比Sr/Ti＝1，混合搅拌10‑20min，获得的溶液中TBOT的摩尔浓度为0.003mol/L‑0.04mol/L；3)将PMNT基片垂直置于水热反应架中，分别用丙酮、乙醇、水、乙醇各清洗至少10min后，60℃干燥2h；4)将步骤3)配制的含反应物溶液和PMNT基片的反应釜内胆装入配套反应釜中，密封，在100‑200℃下反应2h‑24h，然后让反应釜自然冷却至室温，卸釜后，用去离子水和无水乙醇反复洗涤反应产物，过滤，烘干，获得极化PMNT单晶基底上的SrTiO3单晶薄膜。
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