[发明专利]一种模块化设计的自供紫外光源的绿色节能抛光头装置

摘要

本发明公开了一种模块化设计的自供紫外光源的绿色节能抛光头装置，包括自供紫外光源模块、装卡模块和晶圆保持模块，其中自供紫外光源模块包括光源电路、中间圆盘、防护罩、环形石英玻璃板、密封盖和O型密封垫圈，该模块中的光源电路包括环形电路板、锂电池组和红外遥控开关；装卡模块包括上圆盘、装卡圆柱和弹簧钢片；晶圆保持模块包括底圆盘和保持环。本发明采用模块化的设计，方便了单个模块互换以及模块间装配；本发明将紫外光源装置与抛光头装置高度集成，提高了紫外光能利用率并节约了大量紫外光能；本发明中的机械结构采用铝合金，减少了抛光头装置质量，降低了电机损耗。本发明的高集成和轻质量特性有效实现了绿色节能。

主权项

1.一种模块化设计的自供紫外光源的绿色节能抛光头装置，其特征在于，包括光源电路、防护罩(6)、中间圆盘(5)、密封盖(4)、环形石英玻璃板(7)和O型密封垫圈(11)，所述光源电路包括环形电路板(10)、锂电池组和红外遥控开关，所述环形电路板(10)设置在中间圆盘(5)底部边缘的环形阶梯槽(505)的窄槽中并通过环形石英玻璃板(7)密封，所述锂电池组和红外遥控开关设置在中间圆盘(5)中的矩形空腔(504)内，所述防护罩(6)套装在中间圆盘(5)的外缘并将中间圆盘(5)罩住。