[发明专利]具有到达邻近发射器间共享的欧姆金属层的共享过孔的发射器阵列在审
申请号: | 201910238980.1 | 申请日: | 2019-03-27 |
公开(公告)号: | CN110323669A | 公开(公告)日: | 2019-10-11 |
发明(设计)人: | A.袁;A.V.巴威 | 申请(专利权)人: | 朗美通经营有限责任公司 |
主分类号: | H01S5/183 | 分类号: | H01S5/183;H01S5/42 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 贺紫秋 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 一种发射器阵列可以包括:多个发射器,包括两个邻近发射器。发射器阵列可以包括具有两个邻近发射器的多个发射器。欧姆金属层可以包括被两个邻近发射器共享且定位在这两个邻近发射器之间的部分。发射器阵列可以包括在欧姆金属层上方的保护层。发射器阵列可以包括穿过保护层到达所述部分的过孔。过孔被两个邻近发射器共享且位于这两个邻近发射器之间。 | ||
搜索关键词: | 发射器 发射器阵列 邻近 欧姆金属层 共享 多个发射器 保护层 穿过 | ||
【主权项】:
1.一组垂直腔表面发射激光器阵列,即VCSEL阵列,包括:多个VCSEL,包括两个邻近VCSEL;欧姆金属层,与多个VCSEL关联;和保护层,在欧姆金属层上方,其中保护层包括到达欧姆金属层的过孔,其中过孔在多个VCSEL中的两个邻近VCSEL之间共享。
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