[发明专利]用于激光烧蚀的负性光致抗蚀剂组合物及其使用方法

摘要

本申请涉及用于激光烧蚀的负性光致抗蚀剂组合物及其使用方法。具体地，可通过宽带紫外辐射交联的组合物，其在交联后能够通过在222nm和308nm之间发射的UV准分子激光进行冷烧蚀，其中所述组合物包含可在碱水溶液中显影的负性色调抗蚀剂，还包含强烈吸收约220nm至约310nm范围内的紫外辐射的共轭芳基添加剂。本发明还涵盖包括步骤a)，b)和c)的方法，a)将权利要求1的组合物涂覆在基底上；b)通过用宽带UV曝光辐照使整个涂层交联；c)通过用在222nm和308nm之间发射的UV准分子激光的冷激光烧蚀在交联涂层中形成图案。

主权项

1.用于负性色调、碱水溶液可显影的宽带UV抗蚀剂的组合物，其在暴露于宽带辐照的区域中也对随后的通过在222nm和308nm之间发射的UV准分子激光的冷激光烧蚀敏感，其中所述组合物基本上由类型a)和b)的组分，c)溶剂，d)表面活性剂和e)抑制剂组成；a)用于赋予负性色调、碱水溶液可显影的宽带UV抗蚀剂特性的组分(X)，其中(X)包含a‑2)至少一种包含下式结构的聚合物树脂：其中R_1b‑R_5b中的每个独立地选自H，F和CH₃，R_6b选自取代的芳基，未取代的芳基，取代的杂芳基和未取代的杂芳基；R_7b是取代或未取代的苄基；R_8b选自直链或支链的C₂‑C₁₀羟烷基和丙烯酸C₂‑C₁₀羟烷基酯；R_9b是酸可裂解基团，v＝10‑40摩尔％，w＝0‑35摩尔％，x＝0‑60摩尔％，y＝10‑60摩尔％和z＝0‑45摩尔％；b‑2)一种或多种通过光化辐射活化的自由基引发剂，c‑2)一种或多种能够进行自由基交联的可交联丙烯酸化单体，其中丙烯酸酯官能度大于1，并且此外其中所述聚合物树脂占组合物的约30wt％至约80wt％；b)冷激光烧蚀准分子激光敏化剂组分体系，由式(II)组成；其中R₃选自氢，烷基，亚烷基氟烷基，亚烷基芳基和亚烷基氧基烷基；X选自Cl，Br或I；并且此外其中所述冷激光烧蚀准分子激光敏化剂组分体系占组合物的2‑10wt％，并且此外其中所述组合物可以是被涂覆至30至60微米的厚度的组合物；c)溶剂，选自丙二醇单烷基醚，烷基丙二醇，2‑庚酮，3‑甲氧基‑3‑甲基丁醇，乙酸丁酯，二甘醇二甲醚，乙二醇单乙醚乙酸酯，乙二醇单甲醚，乙二醇单乙醚，二甘醇单乙醚，乙二醇单乙醚乙酸酯，乙二醇单甲基乙酸酯，甲基乙基酮，2‑庚酮，单氧基单羧酸酯，氧乙酸甲酯，氧乙酸乙酯，氧乙酸丁酯，甲氧基乙酸甲酯，甲氧基乙酸乙酯，甲氧基乙酸丁酯，乙氧基乙酸甲酯，乙氧基乙酸乙酯，丙酸乙氧基乙酯，3‑氧丙酸甲酯，3‑氧丙酸乙酯，3‑甲氧基丙酸甲酯，3‑甲氧基丙酸乙酯，2‑氧丙酸甲酯，2‑氧丙酸乙酯，2‑羟基丙酸乙酯，3‑羟基丙酸乙酯，2‑氧丙酸丙酯，2‑乙氧基丙酸甲酯，2‑甲氧基丙酸丙酯，丙二醇单甲基醚乙酸酯和其组合。