[发明专利]振动元件、振动元件的制造方法、物理量传感器、惯性测量装置、电子设备以及移动体在审
| 申请号： | 201910241056.9 | 申请日： | 2019-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN110323326A | 公开（公告）日： | 2019-10-11 |
| 发明（设计）人： | 佐佐木奖悟;志村匡史;山口启一;押尾政宏 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/04 | 分类号： | H01L41/04;H01L41/09;H01L41/113;H01L41/253;G01C21/16;G01C19/5628;G01C19/5621 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 刘畅;邓毅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供振动元件、振动元件的制造方法、物理量传感器、惯性测量装置、电子设备以及移动体，振动元件具有：基部；振动臂，所述振动臂从所述基部起延伸，具有位于所述基部侧并配置有电极膜的臂部和比所述臂部靠末端侧的施重部；以及施重膜，其配置在所述施重部上，所述振动臂具有处于正反关系的第1主面和第2主面，所述电极膜和所述施重膜配置在所述第1主面和所述第2主面上，配置在所述第1主面上的所述电极膜的厚度、配置在所述第1主面上的所述施重膜的厚度、配置在所述第2主面上的所述电极膜的厚度以及配置在所述第2主面上的所述施重膜的厚度分别为50nm以上且500nm以下。 | ||
| 搜索关键词： | 振动元件 电极膜 配置 重膜 振动臂 基部 主面 惯性测量装置 物理量传感器 电子设备 施重部 移动体 臂部 正反关系 末端侧 制造 延伸 | ||
【主权项】：
1.一种振动元件，其特征在于，具有：基部；振动臂，所述振动臂从所述基部起延伸，具有位于所述基部侧并配置有电极膜的臂部和比所述臂部靠末端侧的施重部；以及施重膜，所述施重膜配置于所述施重部，所述振动臂具有处于正反关系的第1主面和第2主面，所述电极膜和所述施重膜配置在所述第1主面和所述第2主面上，配置在所述第1主面上的所述电极膜的厚度、配置在所述第1主面上的所述施重膜的厚度、配置在所述第2主面上的所述电极膜的厚度以及配置在所述第2主面上的所述施重膜的厚度分别为50nm以上且500nm以下。
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