[发明专利]电子束显微镜在审
| 申请号： | 201910241576.X | 申请日： | 2019-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN110310876A | 公开（公告）日： | 2019-10-08 |
| 发明（设计）人： | L.韩;J.佛伯;S.迈耶;W.伯杰 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H01J37/26 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王蕊瑞 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 一种电子束显微镜，包括用于检测反向散射电子的能量敏感检测器(47)、以及用于处理检测器(47)的检测信号(67)的信号处理器(61)。该信号处理器包括模拟放大器(63)、窗口比较器(83)，该窗口比较器具有信号输入端(84)，该信号输入端连接至该模拟放大器的输出端(79)。在该信号处理器的输出端处(95)产生的信号是基于在该窗口比较器的输出端(85)处提供的信号产生的。该窗口比较器被配置为只有提供给其信号输入端的放大信号(81)小于或等于上限阈值且大于或等于下限阈值时，才输出预定信号(90)。 | ||
| 搜索关键词： | 窗口比较器 信号处理器 电子束显微镜 模拟放大器 信号输入端 输出端 能量敏感检测器 检测器 反向散射 放大信号 检测信号 输出端处 信号产生 信号输入 预定信号 阈值时 输出 检测 配置 | ||
【主权项】：
1.一种电子束显微镜，包括：电子束光学器件(11，19)，这些电子束光学器件被配置用于将聚焦电子束(13)引导到样品(23)上；检测器(47)，该检测器被配置用于产生与从该样品(23)出射的、并入射在该检测器(47)上的反向散射电子相对应的检测信号(67)；以及信号处理器(61)，该信号处理器具有输出端(95)，并且被配置用于处理由该检测器(47)产生的这些检测信号(67)并且基于对这些检测信号(67)的处理在其输出端(95)处产生信号；其中，该检测器(47)是产生这些检测信号(67)的能量敏感检测器，使得相应的检测信号的强度随着对应的所检测的反向散射电子的动能而增大；其中，该信号处理器(61)包括：模拟放大器(63)，该模拟放大器具有信号输入端(65)，该信号输入端连接至该检测器(47)的信号输出端(66)；窗口比较器(83)，该窗口比较器具有信号输入端(84)，该信号输入端连接至该模拟放大器(63)的输出端(79)，其中，在该信号处理器(61)的输出端(95)产生的信号是基于在该窗口比较器(83)的输出端(85)处提供的信号产生的；其中，该模拟放大器(63)被配置用于在其输出端(79)处输出与提供给其信号输入端(65)的检测信号(67)相对应的放大信号(81)；其中，该窗口比较器(83)被配置为只有提供给其信号输入端(84)的放大信号(81)小于或等于上限阈值且大于或等于下限阈值时，才在其输出端(85)处输出预定信号(90)。
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