[发明专利]高频高压低温等离子体发生系统在审

专利信息
申请号: 201910242167.1 申请日: 2019-03-28
公开(公告)号: CN109831112A 公开(公告)日: 2019-05-31
发明(设计)人: 吴迪;伍远博;陶智;陈大庆;黄敏;顾中浩;徐超;周长伟;江均均 申请(专利权)人: 苏州大学
主分类号: H02M7/5387 分类号: H02M7/5387;H02M5/10;H05H1/24
代理公司: 苏州谨和知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32295 代理人: 叶栋
地址: 215006 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种高频高压低温等离子体发生系统,系统包括控制电路、零电压软开关驱动电路及高频谐振升压电路,控制电路用于向零电压软开关驱动电路输送控制信号,零电压开关驱动电路接收控制信号并将控制信号逆变为交流信号并通过零电压软开关驱动电路进行第一次升压处理后发送第一升压信号至高频谐振升压电路,高频谐振升压电路接收第一升压信号并对第一升压信号作第二次升压处理。通过在系统中加入零电压软开关驱动电路及高频谐振升压电路,将控制信号变成第一升压信号,该第一升压信号经高频谐振升压电路升压后形成高压电场,最终在高压电场内稳定形成低温等离子体,达到高效率、低损耗且低温产生等离子体的效果。
搜索关键词: 高频谐振 升压电路 升压信号 软开关驱动电路 零电压 低温等离子体 发生系统 高频高压 控制电路 控制信号 升压处理 等离子体 接收控制信号 零电压开关 高压电 升压 高压电场 交流信号 驱动电路 输送控制 低损耗 高效率 发送
【主权项】:
1.一种高频高压低温等离子体发生系统,其特征在于,所述系统包括控制电路、零电压软开关驱动电路及高频谐振升压电路,所述控制电路用于向所述零电压软开关驱动电路输送控制信号,所述零电压开关驱动电路接收所述控制信号并将所述控制信号逆变为交流信号并通过所述零电压软开关驱动电路进行第一次升压处理后以得到第一升压信号,并发送所述第一升压信号至所述高频谐振升压电路,所述高频谐振升压电路接收所述第一升压信号并对所述第一升压信号作第二次升压处理。
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