[发明专利]微流控装置及其驱动方法

摘要

本发明公开了一种微流控装置及其驱动方法，包括：衬底基板和位于衬底基板一侧的电极层；电极层包括第一电极、第二电极和第三电极；多个通道，通道至少包括一个第一电极、两个第二电极、一个第三电极和一个壁垒；壁垒为T字型结构，且壁垒包括沿第一方向延伸的第一分部和沿第二方向延伸的第二分部；壁垒包括位于第一电极和第二电极之间的第一壁垒，第一壁垒的第一分部位于第一电极和第二电极之间，第一壁垒的第二分部位于两个第二电极之间；第三电极沿第一方向延伸，第三电极在衬底基板所在平面的垂直投影位于第一壁垒的第一分部在衬底基板所在平面的垂直投影内。本发明可有效减少通道数量，且可快速、精准的对液滴进行分裂。

主权项

1.一种微流控装置，其特征在于，包括：衬底基板和位于所述衬底基板一侧的电极层；所述电极层包括第一电极、第二电极和第三电极；多个通道，所述通道至少包括一个所述第一电极、两个所述第二电极、一个所述第三电极和一个壁垒；同一通道中，两个所述第二电极位于所述第一电极的同一侧，且两个所述第二电极沿第一方向排列；所述壁垒与所述电极层位于所述衬底基板的同一侧，所述壁垒为T字型结构，且所述壁垒包括沿所述第一方向延伸的第一分部和沿第二方向延伸的第二分部；所述壁垒包括位于所述第一电极和所述第二电极之间的第一壁垒，所述第一壁垒的所述第一分部位于所述第一电极和所述第二电极之间，所述第一壁垒的所述第二分部位于两个所述第二电极之间，其中，所述第一方向和所述第二方向相交；所述第三电极沿所述第一方向延伸，所述第三电极在所述衬底基板所在平面的垂直投影位于所述第一壁垒的所述第一分部在所述衬底基板所在平面的垂直投影内。