[发明专利]一种用于多种纳米位移传感器间相互标定的装置有效
| 申请号： | 201910245327.8 | 申请日： | 2019-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN109870107B | 公开（公告）日： | 2021-01-01 |
| 发明（设计）人： | 陈志龙 | 申请（专利权）人： | 北京同创微纳科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人： | 张庆骞 |
| 地址： | 100096 北京市昌平区*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开提供了用于多种纳米位移传感器间相互标定的装置。该装置包括位移平台，所述位移平台包括动平台和静平台，动平台与压电器件相连；压电器件用于将控制电压转化为驱动力以驱动动平台运动；动平台上安装有第一反射镜，静平台上安装有第二反射镜；动平台运动使得激光干涉仪发射的激光经第一反射镜和第二反射镜的反射后产生变化的干涉条纹；位移平台上设置有单极电容传感器、光栅位移传感器和双极电容传感器中的至少一者，激光干涉仪、单极电容传感器、光栅位移传感器和双极电容传感器均可获得动平台位移变化数据，进而实现单极电容传感器、光栅位移传感器和双极电容传感器中的至少一者与激光干涉仪相互标定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 多种 纳米 位移 传感器 相互 标定 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于多种纳米位移传感器间相互标定的装置，其特征在于，包括：位移平台，所述位移平台包括动平台和静平台，动平台与压电器件相连；压电器件用于将控制电压转化为驱动力以驱动动平台运动；动平台上安装有第一反射镜，静平台上安装有第二反射镜；动平台运动使得激光干涉仪发射的激光经第一反射镜和第二反射镜的反射后产生变化的干涉条纹；位移平台上设置有单极电容传感器、光栅位移传感器和双极电容传感器中的至少一者，激光干涉仪、单极电容传感器、光栅位移传感器和双极电容传感器均可获得动平台位移变化数据，进而实现单极电容传感器、光栅位移传感器和双极电容传感器中的至少一者与激光干涉仪相互标定；其中，单极电容传感器可设置于静平台上；光栅位移传感器由标尺光栅和光栅读数头构成，标尺光栅可固定于动平台上，光栅读数头可固定于静平台上；双极电容传感器由第一极板和第二极板构成，第一极板可设置于直进式微分头尾部，直进式微分头固定于静平台上，第二极板可设置于与直进式微分头的尾部相对的动平台上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京同创微纳科技有限公司，未经北京同创微纳科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910245327.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种基于无人机图片的建筑物体积测量方法
- 下一篇：输电线路覆冰检测方法及装置
