[发明专利]加热器及具有其的单晶炉在审
| 申请号： | 201910249604.2 | 申请日： | 2019-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN109837593A | 公开（公告）日： | 2019-06-04 |
| 发明（设计）人： | 陈翼;张楠 | 申请（专利权）人： | 徐州晶睿半导体装备科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B29/06;F27D11/02 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 赵天月 |
| 地址： | 221004 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了加热器及具有其的单晶炉，其中，所述加热器包括：至少两层加热器组件，每层加热器组件均具有相对的上端部和下端部，至少一层加热器组件上形成自上端部向下端部延伸的第一狭缝以及自下端部向上端部延伸的第二狭缝，上下相邻的两层加热器组件层叠设置，第一狭缝和/或第二狭缝的尺寸可调；电极脚可拆卸地设置加热器的底部。该加热器采用层叠设置的至少两层加热器组件，上下相邻两层加热器组件形成类似并联的通路，在紧凑的热场空间内加热器厚度与高度变化有限的情况下，可以减小加热器电阻，从而提高加热器功率，并且至少一层加热器组件上的第一狭缝和/或第二狭缝的尺寸可调，进而灵活调整温度梯度。 | ||
| 搜索关键词： | 加热器组件 加热器 狭缝 两层 层叠设置 尺寸可调 端部延伸 单晶炉 上端部 下端部 加热器电阻 加热器功率 高度变化 灵活调整 内加热器 温度梯度 电极脚 可拆卸 并联 减小 热场 紧凑 | ||
【主权项】：
1.一种加热器，其特征在于，包括：至少两层加热器组件，每层所述加热器组件均具有相对的上端部和下端部，至少一层所述加热器组件上形成自所述上端部向所述下端部延伸的第一狭缝以及自所述下端部向所述上端部延伸的第二狭缝，上下相邻的两层所述加热器组件层叠设置，所述第一狭缝和/或所述第二狭缝的尺寸可调；电极脚，所述电极脚可拆卸地设置所述加热器的底部。
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