[发明专利]一种研磨液分配臂及化学机械平坦化装置在审
| 申请号： | 201910250307.X | 申请日： | 2019-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN109940517A | 公开（公告）日： | 2019-06-28 |
| 发明（设计）人： | 黄振伟;王昭钦 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02;B24B37/00;B24B37/34;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 高洁;张颖玲 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉市洪山区东*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种研磨液分配臂及化学机械平坦化装置。用于分配研磨液的分配臂包括机械臂，所述机械臂能够移动至任何所需位置；配置为用于输送研磨液的喷嘴，固定地或角度可调地设置在机械臂的下方；配置为用于缓冲所述喷嘴排出的研磨液的挡板，固定地或角度可调地从用于连接所述挡板与所述机械臂的连接件上倾斜地延伸到所述喷嘴的下方。此外，本申请还涉及包括所述分配臂的化学机械平坦化装置。本发明的研磨液分配臂，可以使待铺展在研磨台面上的研磨液均匀地分布，同时还提高了研磨液的利用率，提高了研磨质量。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨液 分配臂 机械臂 化学机械平坦化 挡板 角度可调 喷嘴 研磨 连接件 喷嘴排 研磨台 缓冲 配置 铺展 申请 分配 延伸 移动 | ||
【主权项】：
1.一种用于分配研磨液的分配臂，其特征在于，所述分配臂包括：机械臂，所述机械臂能够移动到任何所需位置；配置为用于输送研磨液的喷嘴，固定地或角度可调地设置在机械臂的下方；配置为用于缓冲所述喷嘴排出的研磨液的挡板，固定地或角度可调地从用于连接所述挡板与所述机械臂的连接件上倾斜地延伸到所述喷嘴的下方。
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