[发明专利]可调整感应电容值的微机电感测装置有效
| 申请号： | 201910250585.5 | 申请日： | 2019-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN111750905B | 公开（公告）日： | 2023-05-09 |
| 发明（设计）人： | 许郁文;黄肇达;郭秦辅;叶哲恺 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G01D5/241 | 分类号： | G01D5/241 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开一种可调整感应电容值的微机电感测装置，其包含特殊应用集成电路芯片以及感测元件。特殊应用集成电路芯片包含上表面、读取电路以及多个电性开关。感测元件用以侦测物理量并且包含固定电极以及可动电极。固定电极包含多个电极单元。可动电极可相对固定电极移动。该些电性开关分别电性耦接至各该些电极单元，用以控制该些电极单元的工作状态，进而可改变可调整感应电容值的微机电感测装置的感应电容值。 | ||
| 搜索关键词： | 可调整 感应 电容 微机 电感 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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