[发明专利]一种光学压力传感器在审
| 申请号： | 201910252438.1 | 申请日： | 2019-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN110068405A | 公开（公告）日： | 2019-07-30 |
| 发明（设计）人： | 蔡一博;王振宇;乔治;焦新兵 | 申请（专利权）人： | 上海理工大学 |
| 主分类号： | G01L1/24 | 分类号： | G01L1/24;G01L11/02 |
| 代理公司： | 上海邦德专利代理事务所(普通合伙) 31312 | 代理人： | 余昌昊 |
| 地址： | 200093 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种光学压力传感器，包括激光光源、分束装置、检测单元、反射镜和光斑探测器；检测单元包括一导电变形层和反射层；激光光源发射出的激光经分束装置分束后形成透射光和反射光；透射光经反射层后进入光斑探测器；透射光与反射层之间形成第一反射角；反射光经反射镜反射后进入光斑探测器；反射光与反射镜之间形成第二反射角；第一反射角等于第二反射角。本发明通过比较反射镜的反射光和应变检测单元反射光的光斑位置即可以获得外界的压力参数值，具有结构简单、抗干扰性强、反应速度快、精度高、灵敏度高且成本低的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 反射光 反射角 光斑探测器 反射层 反射镜 透射光 光学压力传感器 分束装置 激光光源 应变检测单元 反射镜反射 反应速度快 光斑位置 灵敏度 变形层 检测 导电 分束 激光 发射 | ||
【主权项】：
1.一种光学压力传感器，其特征在于，包括激光光源、分束装置、检测单元、反射镜和光斑探测器；其中，所述检测单元包括一导电变形层和反射层；所述激光光源发射出的激光经所述分束装置分束后形成透射光和反射光；所述透射光经所述反射层后进入所述光斑探测器；所述透射光与反射层之间形成第一反射角；所述反射光经所述反射镜反射后进入所述光斑探测器；所述反射光与反射镜之间形成第二反射角；所述第一反射角等于所述第二反射角。
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