[发明专利]一种晶圆双面宏观观测装置及系统

摘要

本发明公开了一种晶圆双面宏观观测装置及系统，涉及晶圆检测技术领域。包括：基座，基座上设有第一支撑板和第二支撑板，第一支撑板与第二支撑板之间设有翻转盘，翻转盘通过连接轴连接于第一支撑板或第二支撑板上，翻转盘沿连接轴的轴线方向转动连接于第一支撑板与第二支撑板；翻转盘上设有旋转盘，旋转盘沿其轴线方向转动连接于翻转盘，旋转盘的轴线垂直于翻转盘的轴线，翻转盘上设有用于驱动旋转盘转动的旋转机构；旋转盘上设有开合机构，开合机构内设有用于将晶圆压紧于旋转盘的按压板，按压板沿旋转盘的周向方向设置于旋转盘上；翻转盘上开设有第一观察开口，旋转盘上开设有第二观察开口。减小了晶圆损坏的可能，增加了晶圆观察时的可靠性。

主权项

1.一种晶圆双面宏观观测装置，其特征在于，包括：基座，所述基座上设有第一支撑板和第二支撑板，所述第一支撑板与所述第二支撑板之间设有翻转盘，所述翻转盘通过连接轴连接于所述第一支撑板或所述第二支撑板上，所述翻转盘沿所述连接轴的轴线方向转动连接于所述第一支撑板与所述第二支撑板；所述翻转盘上设有旋转盘，所述旋转盘沿其轴线方向转动连接于所述翻转盘，所述旋转盘的轴线垂直于所述翻转盘的轴线，所述翻转盘上设有用于驱动所述旋转盘转动的旋转机构；所述旋转盘上设有开合机构，所述开合机构内设有用于将晶圆压紧于所述旋转盘的按压板，所述按压板沿所述旋转盘的周向方向设置于所述旋转盘上；所述翻转盘上开设有第一观察开口，所述旋转盘上开设有第二观察开口。