[发明专利]基于薄膜集成无源器件工艺的宽带小型化威尔金森功分器及其制备方法

摘要

基于薄膜集成无源器件工艺的宽带小型化威尔金森功分器及其制备方法，本发明属于微波器件领域，它为了解决现有平面级联结构的威尔金森功率分配器的尺寸较大，器件可靠性较低的问题。本发明威尔金森功分器的电路是在输入端口与一号输出端口之间通过依次串联的RC滤波器、一号传输线等效组件、二号传输线等效组件相连接；输入端口与二号输出端口之间通过依次串联的RC滤波器、三号传输线等效组件、四号传输线等效组件相连接。本发明采用微纳加工技术在砷化镓晶元上进行六层薄膜型无源集成器件的制造，使得尺寸大幅度减小，该威尔金森功分器的尺寸仅为1.5mm×3mm×0.65mm。而且本发明的制造工艺精度高，器件性能稳定。

主权项

1.基于薄膜集成无源器件工艺的宽带小型化威尔金森功分器，其特征在于该基于薄膜集成无源器件工艺的宽带小型化威尔金森功分器包括输入端口port1、一号输出端口port2、二号输出端口port3、两个RC滤波器和四个传输线等效组件，该宽带小型化威尔金森功分器的电路是在输入端口port1与一号输出端口port2之间通过依次串联的第一RC滤波器、一号传输线等效组件、二号传输线等效组件相连接，其中一号传输线等效组件是由一号电感L₁、一号电容C₁和二号电容C₂组成π型电路，一号电容C₁的一端与一号电感L₁相连，一号电容C₁的另一端接地，二号电容C₂的一端与一号电感L₁相连，二号电容C₂的另一端接地；二号传输线等效组件由三号电感L₃、五号电容C₅和六号电容C₆组成π型电路，五号电容C₅的一端与三号电感L₃相连，五号电容C₅的另一端接地，六号电容C₆的一端与三号电感L₃相连，六号电容C₆的另一端接地；所述的输入端口port1与二号输出端口port3之间通过依次串联的第二RC滤波器、三号传输线等效组件、四号传输线等效组件相连接，其中三号传输线等效组件是由二号电感L₂、三号电容C₃和四号电容C₄组成π型电路，三号电容C₃的一端与二号电感L₂相连，三号电容C₃的另一端接地，四号电容C₄的一端与二号电感L₂相连，四号电容C₄的另一端接地；四号传输线等效组件是由四号电感L₄、七号电容C₇和八号电容C₈组成π型电路，七号电容C₇的一端与四号电感L₄相连，七号电容C₇的另一端接地，八号电容C₈的一端与四号电感L₄相连，八号电容C₈的另一端接地；一号传输线等效组件和二号传输线等效组件之间有第一节点a，二号传输线等效组件与一号输出端口port2之间有第三节点c，三号传输线等效组件和四号传输线等效组件之间有第二节点b，四号传输线等效组件与二号输出端口port3之间有第四节点d，第一节点a与第二节点b之间设置有第一隔直电阻R₁，第三节点c与第四节点d之间设置有第二隔直电阻R₂；该宽带小型化威尔金森功分器通过薄膜集成无源器件工艺制成多层结构。