[发明专利]温度参数及压力参数获取方法、装置、设备及存储介质有效

专利信息
申请号: 201910252664.X 申请日: 2019-03-29
公开(公告)号: CN110008574B 公开(公告)日: 2022-12-13
发明(设计)人: 王晓霞;于洁;王遥遥;孙湃;李蒙;秦树林;王春华;李鹏涛;黄庭峰;历伟;赵铁磊;马青 申请(专利权)人: 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方光电科技有限公司
主分类号: G01D21/02 分类号: G01D21/02
代理公司: 北京志霖恒远知识产权代理有限公司 11435 代理人: 郭栋梁
地址: 100015 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 本申请公开了一种温度参数及压力参数获取方法、装置、设备及存储介质,其中装置包括获取单元,用于获取以不同波长的第一激光及第二激光同时对MDR球形微腔激励,并同时改变MDR球形微腔的第一测试温度和第一测试压力,而形成的第一激光及第二激光的温度谱线移动量及压力谱线移动量;计算单元,用于获得温度参数及压力参数。上述方案,在同时改变第一测试温度和第一测试压力的情况下,通过两不同波长激光的激励来获得两不同激光的温度谱线移动量及压力谱线移动量,并对温度谱线移动量及压力谱线移动量进行解耦,获得温度参数及压力参数,使得MDR球形微腔采用解耦后的参数进行温度、压力传感时,提高了MDR球形微腔传感的品质,保证了测量的准确性。
搜索关键词: 温度 参数 压力 获取 方法 装置 设备 存储 介质
【主权项】:
1.一种MDR球形微腔的温度参数及压力参数获取方法,其特征在于,以不同波长的第一激光及第二激光同时对所述MDR球形微腔激励,并同时改变所述MDR球形微腔的第一测试温度和第一测试压力,以获得所述第一激光及所述第二激光的温度谱线移动量及压力谱线移动量,并根据以下关系式获得所述MDR球形微腔的温度参数及压力参数:其中,Δλ1为所述第一激光不区分温度、压力效应的谱线移动量,Δλ2为所述第二激光不区分温度、压力效应的谱线移动量,ε为所述MDR球形微腔的热光系数,α为所述MDR球形微腔的热膨胀系数,γ为所述MDR球形微腔的折射率压力系数,G为所述MDR球形微腔的应变杨氏模量,R为所述MDR球形微腔的半径,λ1为所述第一激光的波长,λ2为所述第二激光的波长,n1为所述MDR球形微腔对所述第一激光的折射率,n2为所述MDR球形微腔对所述第二激光的折射率,Δλ1T为所述第一激光的温度谱线移动量,Δλ1P为所述第一激光的压力谱线移动量,Δλ2T为所述第二激光的温度谱线移动量,Δλ2P为所述第二激光的压力谱线移动量,ΔT为温度改变量,ΔP为压力改变量。
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