[发明专利]一种落尘检测方法在审
| 申请号： | 201910253299.4 | 申请日： | 2019-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN109932292A | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 万来威 | 申请（专利权）人： | 苏州精濑光电有限公司 |
| 主分类号： | G01N15/06 | 分类号： | G01N15/06;G01N15/02 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 215125 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种落尘检测方法，该落尘检测方法包括：S1，提供一种落尘检测设备，所述落尘检测设备包含检测模块，用于放置和检测待检测透明基板；所述检测模块包括壳体以及设置在所述壳体中的光源、图像采集单元和控制单元；S2，扫描所述待检测透明基板，获取第一时间点T1的第一落尘数量N1；S3，扫描所述待检测透明基板，获取第二时间点T2的第二落尘数量N2。本发明实施例，检测方法简单，采用简单的图像采集技术实现了对落尘检测设备所处环境的洁净检测，还实现了对待检测透明基板的洁净检测。 | ||
| 搜索关键词： | 落尘 检测 透明基板 检测设备 检测模块 壳体 扫描 洁净 图像采集单元 图像采集技术 时间点 光源 | ||
【主权项】：
1.一种落尘检测方法，其特征在于，包含步骤：S1，提供一种落尘检测设备，所述落尘检测设备包含检测模块，用于放置和检测待检测透明基板；所述检测模块包括壳体以及设置在所述壳体中的光源、图像采集单元和控制单元；S2，扫描所述待检测透明基板，获取第一时间点T1的第一落尘数量N1；S3，扫描所述待检测透明基板，获取第二时间点T2的第二落尘数量N2。
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