[发明专利]电机垂直度的检测装置及检测方法有效
| 申请号： | 201910255465.4 | 申请日： | 2019-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN110091070B | 公开（公告）日： | 2021-03-02 |
| 发明（设计）人： | 郑金轮;白震;王正伟;魏劲松 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 电机垂直度的检测装置包括激光器、扩束准直器、二维扫描振镜、两个半透半反镜片、手动调焦装置、显微物镜、辅助测试样品、扩束准直器、白光照明光源、聚焦镜片、CCD探测器、第一控制器、计算机、第二控制器和待测电机的二维平台，及检测方法。本发明可以充分利用平台已有资源快速检测电机垂直度以方便后续的校正，提高刻写质量，具有很高的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 电机 垂直 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.电机垂直度的检测装置，其特征在于，包括激光器(1)、扩束准直器(2)、二维扫描振镜(3)、半透半反镜片(4)、半透半反镜片(5)、手动调焦装置(6)、显微物镜(7)、辅助测试样品(8)、扩束准直器(10)、白光照明光源(11)、聚焦镜片(12)、CCD探测器(13)、第一控制器(14)、计算机(15)和第二控制器(16)；所述的辅助测试样品(8)放置在待测电机的二维平台(9)上；所述激光器(1)发出的光经过所述扩束准直器(2)调整后变为近似平行光，该近似平行光先经过所述二维扫描振镜(3)，再依次经过所述半透半反镜片(4)和半透半反镜片(5)透射后入射到所述显微物镜(7)，通过调节所述的调焦装置(6)将入射光束聚焦到辅助测试样品(8)的表面，形成激光光斑；所述白光照明光源(11)发出白色照明光束，该光束经扩束准直器(10)调整后变为近似平行光后入射到半透半反镜片(4)被分为第一透射光束和第一反射光束，其中第一反射光束经过半透半反镜片(5)后被分束成为第二透射光束和第二反射光束，第二反射光束入射到显微物镜(7)，然后照在辅助测试样品(8)的表面，形成照明光斑；所述的激光光斑和照明光斑反射经所述的显微物镜(7)入射到半透半反镜片(5)，经该半透半反镜片(5)分束为第三透射光束和第三反射光束，所述的第三反射光束经过聚焦镜片(12)聚焦后入射到CCD探测器(13)感光元件上，该CCD探测器(13)与所述计算机(15)通讯；所述的待测电机的二维平台(9)经第一控制器(14)与所述的计算机(15)相连，所述的二维扫描振镜(3)经第二控制器(16)与所述计算机(15)相连。
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