[发明专利]基于微尺度皱纹的金薄膜柔性裂纹传感器在审
申请号: | 201910257488.9 | 申请日: | 2019-04-01 |
公开(公告)号: | CN111766000A | 公开(公告)日: | 2020-10-13 |
发明(设计)人: | 邹强;郑佳 | 申请(专利权)人: | 天津大学 |
主分类号: | G01L1/22 | 分类号: | G01L1/22 |
代理公司: | 天津市三利专利商标代理有限公司 12107 | 代理人: | 徐金生 |
地址: | 300072*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本发明公开了基于微尺度皱纹的金薄膜柔性裂纹传感器,其特征在于,包括柔性基底(1),所述柔性基底(1)的表面涂覆有氧化石墨烯层(2);涂覆有氧化石墨烯层(2)的柔性基底(1)的表面,通过离子溅射的方式,沉积形成有金膜(3)。本发明公开的基于微尺度皱纹的金薄膜柔性裂纹传感器,其具有良好的灵敏度,能够灵敏、可靠地将所受到的外力作用情况,对应转换为电阻的变化情况,具有重大的生产实践意义。 | ||
搜索关键词: | 基于 尺度 皱纹 薄膜 柔性 裂纹 传感器 | ||
【主权项】:
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