[发明专利]一种用于COF湿制程的液浮喷盘在审
| 申请号： | 201910257681.2 | 申请日： | 2019-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN110012604A | 公开（公告）日： | 2019-07-12 |
| 发明（设计）人： | 杨洁;方磊;孙彬;吴骏;沈洪;李晓华 | 申请（专利权）人： | 上达电子(深圳)股份有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/00 | 分类号： | H05K3/00;H05K3/06 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 唐致明 |
| 地址： | 518104 广东省深圳市宝安区沙井街道黄*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于COF湿制程的液浮喷盘，其包括密封腔体，该密封腔体的侧壁上开设有进水口和出水孔，显影液通过进水口进入密封腔体，再通过出水孔以液柱形式冲出，顶起位于出水孔上方的COF产品，同时对COF产品进行显影作用。以上结构中，显影液形成的液柱直接对COF产品进行支撑，而无需其他结构对COF产品接触进行支撑，避免使用传统的段差滚轮，也就无需对段差滚轮进行尺寸设计，结构简单；同时，还避免了起支撑作用的结构接触COF产品对其干膜及线路造成污染或损伤，提高了COF产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 密封腔体 出水孔 进水口 湿制程 显影液 段差 滚轮 喷盘 液浮 液柱 尺寸设计 结构接触 显影作用 支撑作用 传统的 侧壁 干膜 支撑 损伤 污染 | ||
【主权项】：
1.一种用于COF湿制程的液浮喷盘，其特征在于，包括：密封腔体，所述密封腔体的侧壁上开设进水口与出水孔；显影液从进水口进入所述密封腔体、再通过所述出水孔从所述密封腔体冲出、顶起位于所述出水孔上方的COF产品。
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