[发明专利]一种基于悬空结构的压电微机械超声传感器有效
| 申请号： | 201910257904.5 | 申请日： | 2019-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN109990814B | 公开（公告）日： | 2021-08-03 |
| 发明（设计）人： | 金玉丰;邱奕翔;王莉 | 申请（专利权）人： | 北京大学深圳研究生院 |
| 主分类号： | G01D5/48 | 分类号： | G01D5/48 |
| 代理公司： | 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 44281 | 代理人： | 郭燕 |
| 地址： | 518055 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种基于悬空结构的压电微机械超声传感器，其主要包括基座和压电晶片，其中压电晶片通过一个或多个连接件悬空设置在所述基座上，所述压电晶片用于产生或接收超声波。一方面，由于压电晶片和基座之间采用连接件进行连接，使得压电晶片处于悬空状态，利于减小基座对压电晶片的拉应力束缚，从而减少残余应力的影响；另一方面，由于压电晶片的悬浮结构设计，使得传感器自身能够实现更好的谐振运动，对于边缘的束缚应力更小，压电晶片或压电薄膜的振动位移更大，利于产生高声压的超声波，实现更为准确的识别和探测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 悬空 结构 压电 微机 超声 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种基于悬空结构的压电微机械超声传感器，其特征在于，包括：基座；压电晶片，通过一个或多个连接件悬空设置在所述基座上，所述压电晶片用于产生或接收超声波。
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